ASTM F 1367-1998 薄膜设备用铬喷镀极
作者:标准资料网 时间:2024-05-23 10:40:39 浏览:8934
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【英文标准名称】:StandardSpecificationforChromiumSputteringTargetsforThinFilmApplications
【原文标准名称】:薄膜设备用铬喷镀极
【标准号】:ASTMF1367-1998
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:1998
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:铬;薄膜;薄膜
【英文主题词】:thinfilms;thinfilms;chromium
【摘要】:
【中国标准分类号】:H62
【国际标准分类号】:25_220_40
【页数】:
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:薄膜设备用铬喷镀极
【标准号】:ASTMF1367-1998
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:1998
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:铬;薄膜;薄膜
【英文主题词】:thinfilms;thinfilms;chromium
【摘要】:
【中国标准分类号】:H62
【国际标准分类号】:25_220_40
【页数】:
【正文语种】:英语
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