DIN 50434-1986 半导体工艺材料的检验.对(111)和(100)表面采用蚀刻技术的单晶硅的晶体结构缺陷的测定

作者:标准资料网 时间:2024-05-07 02:19:24  浏览:9305   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;detectionofcrystaldefectsinmonocrystallinesiliconusingetchingtechniqueson{111}and{100}surfaces
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.对(111)和(100)表面采用蚀刻技术的单晶硅的晶体结构缺陷的测定
【标准号】:DIN50434-1986
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1986-02
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:半导体;晶体缺陷;材料;晶体;硅;定义;腐蚀检查;试验;半导体工艺;半导体工程
【英文主题词】:Crystaldefects;Crystals;Definition;Definitions;Etchinspection;Materials;Semiconductorengineering;Semiconductortechnology;Semiconductors;Silicon;Testing
【摘要】:Thisstandarddefinesamethodforthedeterminationofthecrystallographicperfectionofmono-crystallinesiliconbyetchtechniqueson{111}-and{100}-surfaces.Itisapplicableton-typeorp-typeddopedsiliciumwithspecificresistancedownto0,005cmandtodislocationdensitieswithin100and100000cm.#,,#
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:9P;A4
【正文语种】:德语